MEMS集中講義 in ふくおか を開催致しました。
●講師：江刺正喜、羽根一博、西沢松彦、小野崇人、田中秀治、芳賀洋一、戸津健太郎、小切間正彦、竹井裕
●日時：２００８年８月２０日～２２日
●場所：福岡システムLSI総合開発センター ＡＢ会議室（２Ｆ）
●主催：東北大学大学院工学研究科マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、MEMSパークコンソーシアム、(財）福岡県産業・科学技術振興財団
プログラム
【8月20日(水)】
10:00～ マイクロマシニング１ (概論、フォトファブリケーション、エッチン グ)
13:30～ マイクロマシニング２ (堆積、接合、複合プロセス、パッケージング 他)
16:10～ 自動車・家電 関連
(終了後希望者に福岡システムLSI総合開発センター見学 )
【8月21日(木)】
9:30～ 情報・通信 関連 (ディスプレイ、印刷、記録、光スイッチ他)
14:00～ ナノマシニングとナノ構造体
15:10～ MEMSビジネスモデルと課題
18:00～ 交流会 (MEMSカフェ)(参加費 3,000-5,000円)
【8月22日(金)】
9:30～ マイクロエネルギ源
11:40～ マイクロアクチュエータ
13:30～ 医療・バイオ 関連 (カテーテル、検体検査 他)
16:40～ 製造検査 関連 (電子線制御、分析、微量流体制他)
