MEMS 集中講義 in 京都 開催をしました。
●日時:8月9日（火）・10日（水）・11日（木） 9:30～18:00
●場所:MEMS集中講義 立命館大学朱雀キャンパス本館5階大講義室
MEMSPCカフェ 立命館大学朱雀キャンパス本館7階たわわ
見学会（立命館大学） 立命館大学びわこ・草津キャンパステクノコンプレクス
見学会（京都大学） 京都大学 次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ拠点
●主催:東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター、産総研集積マイクロシステム研究センター
共催:東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学ナノテク支援センター
●定員:３０名（先着順・事前申込制）
●参加費：無料（交流会参加費はMEMSPC会員以外、3,000円） 冊子とDVDおよび付録で(1) 「近代技術史学」の冊子を無料配布 申込不要直接参加可、なおMEMSPCカフェ、見学会へのご参加、昼食弁当を希望される方は事務局（Memspc＠Mems.Mech.Tohoku.Ac.Jp）にお申込みください。 なお、参加できない方で冊子とDVDを希望の方には郵送いたしますので、下記までご連絡ください。
●問合せ先：東北大学 江刺・田中研究室 中野裕 Tel.022-795-6934, Fax 022-795-6935、 E-Mail Nakanoyu(＠)Mems.Mech.Tohoku.Ac.Jp
プログラム
【8月9日（火）】
10:00-12:00 マイクロマシニング１（概論、フォトファブリケーション、エッチング）[江刺]
13:00-15:20 マイクロマシニング２（堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他）[江刺]
15:30-17:20 自動車・家電関連（圧力、加速度センサ・ジャイロ他）[江刺]
17:20-17:50 試作コインランドリ[戸津]
【8月10日（水）】
9:30-10:30 接合実装[高木] 10:30-11:30 圧電MEMSデバイス[小林]
11:30-12:30 マイクロエネルギ源[田中]
13:30-15:20 RF関連MEMS（MEMSスイッチ、RFフィルタ）[田中、鈴木]
15:30-17:00 光関連MEMS（赤外線イメージャ）[木股]
17:00-17:30 産総研UMEMSME（集積マイクロシステム研究センター）とMEMSの課題[前田]
17:30-18:00 IMECにおける集積化MEMS技術の開発 [田中]
18:10-20:00 MEMSPCカフェ
18:10-18:40 講演「立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター」[木股]
18:40-20:00 交流会
【8月11日（木）】
9:30-11:00 医療（カテーテル 他）[芳賀]
11:10-12:30 バイオ関連[西澤]
13:30-15:00 ナノマシニングとナノ構造体[小野]
15:10-16:10 マイクロアクチュエータとMEMSディスプレイ・光スキャナ[江刺]
16:10-18:00 製造検査関連（電子線制御、分析、微量流体制他）[江刺]
