2017年度集束イオンビーム加工装置セミナーを開催しました。
文部科学省委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として,2017年度集束イオンビーム加工装置セミナーを開催しました。FIBの歴史から原理そして応用まで含めた視点での装置、最新の状況について日本エフイーアイ完山氏に講演いただきました。微細構造解析プラットフォームの保有する最新の高度なデュアルビーム型FIB装置(日本エフイーアイ )は主に透過型電子顕微鏡試料の作成を中心に利用されております。今回集束イオンビーム装置を活用してナノマテリアルやナノデバイスなどの研究をしてみたいと考える研究者・技術者に向け(例えばFIB-TEM 試料作成、連続断面加工観察による立体構造の構築、微細加工構造作成)産官学,様々な研究開発分野より多くの皆様にご参加いただきました。
●日時:平成29年11月7日 10:00~15:00
●会場: 東北大学金属材料研究所2号館5階セミナー室
●主催:東北大学ナノテク融合技術支援センター
10:00~10:30 「FEI製品群の紹介と特長」
渡邉 孝(Thermo Fisher Scientific)
10:30~12:00 「FIBの基礎と応用」基礎
完山 正林(Thermo Fisher Scientific)
(12:00~13:00 休憩)
13:00~15:00 「FIBの基礎と応用」応用
完山 正林(Thermo Fisher Scientific)
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