電子線描画リソグラフィスクールを開催しました。
本スクールでは、電子線描画リソグラフィ技術およびフォトリソグラフィに関する講義4コマを行いました。また希望者に対して、電子線描画リソグラフィに関する実習を実施しました。
●日時：平成21年5月26日ー5月29日
●場所：東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター 3階セミナ―室
●主催：東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター
東北大学ナノテク融合技術支援センター
【趣旨】本スクールは、文部科学省ナノテクノロジー・ネットワーク事業の一環として、産学官の研究者に電子線描画リソグラフィ技術を中心とした超微細加工に関する装置やその原理を学習する場と、電子線描画リソグラフィ技術を実地に習得する機会を提供し、ナノテクノロジーにおける人材育成に貢献することを目的とする。
A) 講義： 5月26日東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター 3階セミナ―室において、リソグラフィの専門家をお招きし電子線描画リソグラフィ等についての最近の動向を講義頂くと共に、東工大関係者が電子線描画リソグラフィに関して実践的な講義を行いました。 参加人数は40人以上にもなり盛会に終えることができました。
B) 実習： 5月27日から29日の3日間にわたり、高速トランジスタでのTゲート作成に用いられる、三層レジスト形成、露光というリソグラフィ工程の実習を行いました。 希望者が多く、予定より三名多い12名の方に参加頂き、リソグラフィ技術に対する皆様の関心の高さを知る良い機会となりました。
