これまでの支援実績（ユーザーの利用報告書）
年度毎にご提出頂いていてる利用報告書は、各プラットフォームの代表機関で公開されています。パスワード等の発行が必要なので、お手続きの上ご覧ください。
◎微細構造解析PF ◎微細加工PF ◎分子・物質合成PF（平成29年度まで）
CINTS News Letter
ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において、本学マイクロシステム 融合研究開発センター 戸津健太郎准教授、森山雅昭助手、江刺正喜教授が開発を支 援した成果が、同事業の平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞し、「第18回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2019、場所：東京ビッグサイ ト）」において、平成31年1月30日、授賞式が行われました。 受賞対象の成果は、浜松ホトニクス株式会社 杉山厚志氏、大河原悟氏による「広帯 域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発」であり、高速で広帯域の波長掃引を 実現するための回転振動型MEMS回折格子の開発を、本学ナノテク融合技術支援セン ター微細加工プラットフォーム（実施場所：西澤潤一記念研究センター内 試作コイ ンランドリ）において支援しました。小型、高速、広帯域の波長掃引型レーザ光源が 初めて製品化されており、従来の大型で高価、高性能なフーリエ変換赤外分光計 （FT-IR）に代わる小型で高速な赤外分光計測の光源としての応用が期待されます。
（詳細URL）
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成30年度「秀でた利用成果」の詳細
◎国立研究開発法人物質・材料研究機構 ナノテクノロジープラットフォームセンター プレスリリース
◎波長掃引パルス量子カスケードレーザの詳細 浜松ホトニクス株式会社 製品・技術ハイライト
（問合せ先）
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 支援室
電話 022-229-4113 E-mail micro-shien*grp.tohoku.ac.jp（*を@に置き換えてください）
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。
平成27年1月30日に東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム JAPAN NANO 2015において、CINTSスタッフの森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター）が全国で唯一、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。
本賞は、秀でた技術を有し、本事業への多大な貢献が認められた実施担当者に対して授与されるものです。本年度に創設され森山助手が初めての受賞者となりました。受賞の対象となった技術は、MEMSなどの微小デバイスの製作に欠かすことのできない、「シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御」であり、この3年間で学内外の600件以上の利用を支援しています。
多くの皆様にご利用いただいた成果でもあり、感謝申し上げます。今後も皆様に喜んでもらえるよう、 森山助手をはじめスタッフ一同取り組みますので、どうぞよろしくお願いいたします。
【問合せ先】
●事業に関すること
東北大学ナノテク融合技術支援センター
電話 022-217-6037E-Mail Cintsoffice@Rpip.Tohoku.Ac.Jp
●技術に関すること
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター Http://Www.Mu-Sic.Tohoku.Ac.Jp/
電話 022-229-4113
MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」
リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されました。
この成果は、平成25年度ナノテクノロジープラットフォーム「秀でた利用６大成果」の最優秀賞を受賞しました。
リオン㈱が東北大学で試作したMEMSエレクトレットマイクロホンチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」が、NHK放送技術研究所の「技研公開2013」（2013年5月30日～6月2日）にて一般公開されました。
MEMSエレクトレットマイクロホンチップは次世代の高性能超小型マイクロホンの主部部材として期待されており、今回、文部科学省ナノテクノロジープラットフォームの支援を受けて東北大学の設備を用いて試作されたもので、東北大学がこれまで蓄積してきた微細加工技術が活用されています。
今回開発したMEMSエレクトレットマイクロホンは、従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンに比べ、熱や湿度に強い耐環境性能を備え、MEMSプロセスによる製造方法から高精度な設計が可能となり、低ノイズで周波数特性の揃った高性能マイクロホンを低コストで生産することが可能となります。放送用、補聴器用のほか、環境センシングや身体のモニタリングへの応用も期待されます。
●参考URL リオン㈱プレスリリース こちら
●NHK放送技術研究所「技研公開」2013 展示項目32 NHK技術の活用と実用化開発の紹介 こちら
次世代電子顕微鏡技術を用いたナノ構造解析支援
月起源の隕石中に高圧シリカ鉱物を発見!!世界で初めて、月起源の物質にコーサイト、スチショバイト、石英が共存することを明らかにしました。
この研究成果は、米国科学アカデミー紀要(Proceedings For National Academy Of Science)の12 月27 日号に発表されました。そして、この号の論文中で最も注目される研究の一つとして、研究ハイライトに取り上げられました。詳細は東北大学のホームページでも紹介されています。
分子磁石の磁気結合力の希土類イオン依存性と化学的な傾向が明快に示されました。
希土類-有機物-遷移金属の複合分子磁石の開発の鍵となる磁気結合力の正しい値を得ることに成功し、高性能の分子磁石の指針となることを明らかにしたことから、 分子磁石の開発に大きな進展が期待されています。 最先端装置「高周波ＥＳＲ装置」を利用する事で得た研究成果の論文がISI社の高引用頻度論文としても注目されています。 （極限環境分野）
（※この成果はナノネット5大成果に選出され、Nano Tech 2010で展示発表しました）
異分野による融合研究
従来型水素センサには結露水滴により誤動作するという問題がありました。
これに対しセンサ表面に連続的な親／疎水性の傾斜組成膜を形成し、膜上に結露した水滴の両端の接触角の差異から生じる駆動力を利用して水滴を周囲へと排除する方法が超微細加工分野の田中准教授によって考案され、親／疎水性を光によって、制御可能なマラカイトグリーンカルビノールベースの合成を行いました。
技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援
MEMSパッケージングのキー技術となりうる陽極接合できるLTCC基板の開発で、N社に対し 技術相談、評価実験から応用展開まで総合的に支援 を行いました。
この成果をもとに、１４社が参加する分野融合型大型研究プログラムへの参加に発展させ、実用化を達成しました。 この技術は既に多くの企業に注目頂いています。（微細加工分野）
マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!
子供たちの夢を宇宙へ
衛星最上部に載せられたプレートの子供達のメッセージは、当センター微細加工分野によるマイクロエッチング加工技術によって刻みこまれました。詳細は東北大学のSPRITE-SATの特集ページをご覧ください。（微細加工分野）
