微細加工分野では、フォトリソグラフィ、エッチング、薄膜堆積、接合、測定などの装置を操作トレーニング付きで公開するとともに、デバイス構造やプロセス全体の技術相談に応じます。東北大学西澤潤一記念研究センター内の試作コインランドリにおいて実施します。広さ約1,800平米のクリーンルームにおいて、小片から最大8インチウェハに対応するプロセスラインが利用可能です。
支援内容
微細加工分野の支援形態は、以下の3通りです。
- 機器利用：基本的な支援形態は本人による装置利用です。
- 技術代行：機器利用や外部企業への委託が困難な場合は、可能な範囲でこちらのスタッフが加工を受託します。
- 技術補助： 初めて使う装置、あるいは前回の利用から長い時間をおいて使う装置について、操作トレーニングをします。また、デバイス構造やプロセス全体の技術相談や共同研究に応じます。
- 技術相談: 支援結果に基づいて、デバイス構造やプロセス全体の技術相談や共同研究に応じます。
支援機器
- 装置一覧（文部科学省ナノテクノロジープラットフォームイエローページ）
- 装置一覧及び料金表ダウンロード （PDF）
