料金表

設備ならびに装置の利用料金は各実施部局の規定で定められています。また下記の料金は (i) 文科省ARIM事業（設備利用+データ提供、設備利用のみ）、(ii) 東北大学自主事業としての非公開事業に大きく分かれます。

■微細構造解析（分析・計測分野）
金属材料研究所材料分析研究コア/先端電子顕微鏡センター/理学研究科

■微細加工（加工・デバイスプロセス分野）
試作コインランドリ(MEMS)

微細構造解析（金属材料研究所　材料分析研究コア）
■技術支援料A（公開：3,300円/時間　非公開：8,690円/時間）
■技術支援料B（公開：6,490円/時間　非公開：12,980円/時間）
■試料作製準備室使用料（公開 データ提供あり：880円/4時間　公開 データ提供なし：1,408円/4時間　非公開：2,640円/4時間）
■FIB 試料用グリッド（Cu：550円/1個）（Si：3,124円/1個）（Mo：2,970円/1個）（Ti：3,080円/1個）（Ni：1,980円/1個）
■FIB Amber-X用アパーチャー使用料（600 um：143円/1H）（800 um：352円/1H）
利用料【円/1時間】

装置名
〈　*〉はARIM事業装置ID		ARIM事業
（設備利用+データ提供）		ARIM事業
（設備利用）		成果非公開
超高分解能透過電子顕微鏡 (JEM-ARM200F WCorr.) 〈TU-504*〉4,510

7,21621,340
超高分解能透過電子顕微鏡 (JEM-ARM200F STEMCorr.)4,510

7,21621,340
分析電子顕微鏡 (EM-002B) 〈TU-516*〉3,300
5,2806,600
透過電子顕微鏡 (JEM-2000EXII)〈TU-517*〉2,2003,5204,400
分析透過電子顕微鏡（JEM-2100Plus)〈TU-520*〉3,5205,632
6,270
集束イオンビーム加工装置 (Quanta 3D)〈TU-507*〉3,3005,2806,930
集束イオンビーム加工装置 (Versa 3D)〈TU-508*〉5,6108,976
11,000
集束イオンビーム加工装置 技術代行適応料金4,4557,1288,965
プラズマ集束イオンビーム加工装置 (TESCAN Amber-X) 〈TU-521*〉4,1806,68842,240
薄膜断面試料作製装置 (EM-09100IS)〈TU-518*〉2,2003,5204,070
イオンミリング装置 (PIPSⅡ)〈TU-510*〉1,210
1,9362,860
イオンミリング装置 (PIPSⅡ)〈TU-511*〉1,2101,9362,860
イオンミリング装置 (Model1010)〈TU-512*〉4407041,650
熱分析装置 (Thermo plus EVO Ⅱ) 〈TU-514*〉770
1,2321,760
高出力全自動水平型多目的X線回折装置
(SmartLab 9SW)〈TU-515*〉		1,3202,1124,400

※使用料においては分析研究コアの利用規程に従います。
※初習者の単独使用はできません。観察代行・もしくは立会観察をご依頼ください。
※薄膜断面試料作製装置の料金は、前処理（予備加工）済みの試料を持込、当室でイオン研磨加工のみを行った場合の料金になります。
※表示は税込み価格です。【2024/8/1更新】

料金表はこちらです。

データ登録に関する詳細は ARIM事業班の HP 「データ登録について」のページに記載しています。

微細構造解析（先端電子顕微鏡センター）
■技術支援料A（3,300円/時間)　※公開・非公開同料金
■技術支援料B（6,600円/時間)　※公開・非公開同料金
■試料作製準備室使用料 （330円/時間）
利用料【円/日(8時間)】
装置名
〈　*〉はARIM事業装置ID		ARIM事業
（設備利用+データ提供）		ARIM事業
（設備利用）		成果非公開
高性能分析電顕(Titan80-300 結像系収差補正)〈TU-501*〉57,20091,520127,600
ダブルコレクター透過電顕(FEI-Titan G2-cubed)〈TU-502*〉67,760108,420134,640
プローブコレクター透過電顕(FEI-Titan G2-cubed)〈TU-503*〉67,760108,420134,640
走査型電子顕微鏡(SU8000)〈TU-505*〉27,72044,35045,320
走査型電子顕微鏡(S-5500)〈TU-506*〉27,72044,35045,320

※使用料においては先端電子顕微鏡センターの利用規程に従います。使用単位は（1日あたり）8時間です。
※技術支援、解析支援については都度見積・相談によります。
※表示は税込み価格です。

料金表はこちらです。

データ登録に関する詳細は ARIM事業班の HP 「データ登録について」のページに記載しています。

微細構造解析（理学研究科附属巨大分子解析研究センター）
利用料【円/時間】
装置ARIM事業
（設備利用+データ提供）		ARIM事業
（設備利用）		成果非公開
核磁気共鳴装置（800MHz　NMR JNM-ECA 800）5,2005,20032,100
ICP発光分光分析装置（ICPE-9000）3,2003,2004,600

※利用形態は技術代行のみです。
※消耗品はご利用者様にご用意して頂きます。
※表示は税抜価格です。

微細加工(MEMS 試作コインランドリ)
ARIM事業利用の場合 ■技術支援料 3,300円/時間　■施設使用料　530円/時間（学内は360円/時間）
非公開利用の場合 ■技術支援料 6,514円/時間　■施設使用料　530円/時間（学内は360円/時間）
装置一覧及び料金表ダウンロード　（こちら）　　※2023/4/4更新